有毒气体、易燃易爆气体的问题!求SiH4,NF3,NH3,Cl2,H2,PH3这几种气体的浓度允许极限TLV或燃/爆下限LEL值!

来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/05/03 23:31:27
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有毒气体、易燃易爆气体的问题!
求SiH4,NF3,NH3,Cl2,H2,PH3这几种气体的浓度允许极限TLV或燃/爆下限LEL值!

有毒气体、易燃易爆气体的问题!求SiH4,NF3,NH3,Cl2,H2,PH3这几种气体的浓度允许极限TLV或燃/爆下限LEL值!
SiH4:1.4% -96.0%
NF3:10ppm,29mg[F]/m3
NH3: 35ppm
Cl2:0.001mg/L
H2:4%~75%
PH3:0.3ppm
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